螺桿真空泵的發展
發表日期：2019-05-27 瀏覽次數：1996
20世紀90年代，隨著化工制藥行業、半導體工業和液晶顯示器制造工藝的不斷發展，對清潔真空環境的要求越來越高，傳統的油封式機械泵的返油問題日益尖銳 ，急需一種運行穩定可靠，且抽氣腔內完全無油的新型真空泵，干式螺桿真空泵順應而生。1890年，美國麻省的Warren公司發明了全球第一臺雙螺桿泵，荷蘭的Houttuin公司于1929年發明了歐洲第一臺雙螺桿泵。其具有結構簡單緊湊，運行穩定可靠，可直排大氣，抽氣腔內完全無油等特點。
源于螺桿壓縮機的多頭轉子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4－6頭螺桿轉子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉子型線，由于兩嚙合轉子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉子氣缸孔的交線，在接觸線頂點和機殼的轉子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個泄漏三角形的存在，導致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉子加工難度大，需要專用機床，造價昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場。
為適應市場需求，各公司開始開發單頭等螺距轉子型線。目前，單頭等螺距轉真空泵仍占有很大市場。
變螺距螺桿泵是等螺距螺桿泵的升級產品。等螺距螺桿泵由于無內壓縮過程，排氣溫度非常高，如冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽氣效果。里奇樂、凱尼和萊寶公司在單頭等螺距轉子型線基礎上均研發出單頭變螺距轉子型線，并將產品投放市場。最早螺桿真空泵的引導線（螺旋線）為常數，也就是等螺距螺桿，介質(主要是氣體) 在泵體內部等體積傳輸，在排氣口壓縮，屬于外部壓縮，能耗和噪聲都較高。從能效觀點出發，工作氣體是可以內部壓縮的，在端面型線不變的情況下，通過改變螺旋線的導程實現內部壓縮，增大吸氣端導程擴大吸氣容積，縮小排氣端的導程降低氣體返流泄漏，提升了排氣能力，降低了能耗。
螺桿轉子的設計中，最重要的是設計型線，因為轉子型線基本決定了螺桿機械的性能好壞。螺桿機械性能的不斷提高及其市場份額的不斷擴大，是與轉子型線的發展密不可分的。
進入二十一世紀一零年代，河北維普真空在具有二十多年醫藥化工生產經驗的總經理劉學軍帶領下，吸收國外先進技術和設計理念結合國內實際情況進行創新，研發生產了VP系列立式變螺距螺桿真空泵，推向市場后客戶普遍反響較好。維普真空將秉承精益求精、一絲不茍的工作作風，為用戶提供最優化的真空系統解決方案，實現節能、減排、環保、增效的目標。
